單靶磁控濺射儀

       KT-Z1650PVD是一款小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。

   此款單靶磁控濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡(jiǎn)單方便，設(shè)備配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空，在 20Pa 真空保護(hù)。同時(shí)，配有進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)裝置，以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

單靶磁控濺射儀  主要特點(diǎn)：

• 可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛

• 體積小，操作簡(jiǎn)便

• 真空腔室、真空泵組整機(jī)模塊化設(shè)計(jì) ，控制電源為分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整購(gòu)買需求。

• 可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍

磁控濺射頭：

• 儀器中安裝有3個(gè)磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層

• 其中一個(gè)濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材

• 另一個(gè)濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材

• 可以單獨(dú)訂購(gòu)RF連接線作為備用

• 設(shè)備包含一臺(tái)水冷機(jī)，用于靶頭冷卻

載樣臺(tái)：

• 載樣臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)

• 載樣臺(tái)高可加熱溫度

真空腔體：

• 真空腔體：采用不銹鋼制作

• 觀察窗口：

• 腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易

薄膜測(cè)厚：

• 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝 在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?

• LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)