多種氣體流量計混合配比器

  多種氣體流量計混合配比器模擬式質(zhì)量流量控制器是是中國早的氣體測控產(chǎn)品，迄今為止已經(jīng)30多年。 產(chǎn)品種類50余種，涵蓋數(shù)字型，普通型，大量程型，高精度型，快響應(yīng)型，耐壓型，金屬密封型等多種類型的需求。產(chǎn)品歷經(jīng)市場考驗，廣泛應(yīng)用于半導體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、食品、航空電力等行業(yè)，已經(jīng)成為支撐各工業(yè)領(lǐng)域行業(yè)發(fā)展的重要設(shè)備。

產(chǎn)品用途;
  多種氣體流量計混合配比器和氣體質(zhì)量流量計（MFM）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 集成電路工 藝設(shè)備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設(shè)備、 光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）用于對氣體的質(zhì)量流量進行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 集成電路工 藝設(shè)備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。