真空鍍膜中 Z因子和工具因子是什么？

在濺射鍍膜工藝中，z因子和工具因子(Tooling值)是兩個關鍵參數，分別用于描述薄膜沉積行為和修正設備誤差。以下是具體解析:

一、z因子的定義與計算

1.概念:z因子是描述薄膜沉積過程中粒子行為的參數，反映粒子在氣相中的擴散程度，直接影響薄膜的粒子尺寸分布和性能優化。

2.計算公式:

二、工具因子(Tooling值)的定義與計算

1.概念:工具因子是量化鍍膜機內基片與蒸發源(或濺射靶材)相對位置關系的參數，用于修正膜厚誤差，確保沉積速率的空間分布均勻性。

2.計算邏輯:

薄膜厚度(t)與工具因子(k)的數學關系為:

需通過實驗標定具體數值，以消除設備結構或材料特性引起的膜厚偏差。

3.應用場景:若計算失準，可能導致膜厚均勻性下降(邊緣與中心差異超+5%)、重復性失效或材料浪費超30%。

三、兩者的關聯與差異

。關聯性:均用于優化薄膜性能，z因子側重粒子行為預測，工具因子側重設備位置修正。

。差異:z因子屬于理論模型參數，工具因子屬于工程標定參數。

以上參數需結合具體工藝(如磁控濺射)和材料特性(如靶材純度)綜合調整。