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高溫真空探針臺KT-Z1604TZ，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。

叉指電極真空探針臺 是鄭州科探儀器專門為實驗研究設(shè)計的一款小型探針臺，具有高低溫功能，智能多端溫控，性價比高等特點。叉指陣列微電極因其結(jié)構(gòu)簡單容易量產(chǎn),尺寸小響應(yīng)靈敏,且在檢測中能快速建立穩(wěn)定信號而被廣泛應(yīng)用于各類傳感器中。但是基于叉指電極的傳感器在靈敏度、選擇性等重要的性能方面仍有待提高

小型高低溫探針臺配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至350℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實驗時間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。

微型真空探針臺熱臺測試系統(tǒng)測試儀器 快速實現(xiàn)室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進行光學(xué)，電學(xué)測試，測試中也可實現(xiàn)惰性氣體的快速充放。

微型低溫探針冷臺，可定低溫制探針臺系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包括探針臺真空腔主體、鐵制抗震支架、進口分子泵機組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置