氣敏測(cè)試真空探針臺(tái)

  氣敏測(cè)試真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

      該氣敏測(cè)試真空探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。

1、測(cè)試腔、控溫及加熱系統(tǒng)

測(cè)試夾具要求：可實(shí)現(xiàn)XYZ移動(dòng)；

測(cè)試腔：同時(shí)滿足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測(cè)試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測(cè)試；

測(cè)試樣品數(shù)：同時(shí)測(cè)試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測(cè)試、插指電極和場(chǎng)效應(yīng)管測(cè)試；

測(cè)量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測(cè)溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測(cè)試腔容積<2 L

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      公司與國(guó)內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。