產(chǎn)品中心

    Product Center

    等離子清洗機(jī)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。

    產(chǎn)品型號(hào):
    更新時(shí)間:2024-03-29
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問(wèn)量:1799
    詳細(xì)介紹在線留言
    品牌鄭科探產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
    應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池

    等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。

    等離子清洗機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

    內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉(cāng)門(mén)有觀察窗,可直觀物體的處理過(guò)程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。



    技術(shù)資料;

    設(shè)備型號(hào)

    KT-Z2DQX

    KT-S2DQX

    KT-Z5DQX

    控制方式

    7寸觸摸屏人機(jī)界面

    7寸觸摸屏人機(jī)界面

    7寸觸摸屏人機(jī)界面

    供電電源

    AC220VAC110V可選)

    工作電流

    整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

    射頻電源功率

    1000W

    150W

    300W

    匹配方式

    自動(dòng)匹配

    手動(dòng)匹配

    自動(dòng)匹配

    清洗頻率

    40KHz

    13.56MHz

    耦合方式

    電容耦合

    工作真空

    ≤50Pa

    腔體材質(zhì)

    高純石英

    腔體容積

    2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

    2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

    5L(內(nèi)徑160MMX深度310MM)

    觀察窗內(nèi)徑

    Φ50

    Φ50

    Φ70

    氣體流量

    0-300ml/min式質(zhì)量流量傳感器X2個(gè))

    真空計(jì)量程

    1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計(jì))

    過(guò)程控制

    手動(dòng)/自動(dòng)切換

    手動(dòng)/自動(dòng)切換

    手動(dòng)/自動(dòng)切換

    清洗時(shí)間

    自動(dòng)開(kāi)關(guān)

    開(kāi)蓋方式

    鉸鏈側(cè)開(kāi)式法蘭

    外形尺寸

    150*500*250mm

    450*460*370mm

    530*580*420mm

    重量

    20kg

    35kg

    40kg

    真空室溫度

    小于65°C

    冷卻方式

    強(qiáng)制風(fēng)冷

    標(biāo)配

    KF16真空1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說(shuō)明書(shū)一本。


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