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    當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-Z1604TZ-RL分子泵≤10-3Pa真空探針臺

    分子泵≤10-3Pa真空探針臺

    產品簡介

    分子泵≤10-3Pa真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

    產品型號:KT-Z1604TZ-RL
    更新時間:2024-03-29
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:1558
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    品牌鄭科探

    分子泵≤10-3Pa真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。


      分子泵≤10-3Pa真空探針臺該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:030mmy方向調節范圍:020mm;z方向調節范圍:020mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測



    加熱型

    冷熱型

    腔體材質

    304不銹鋼

    上蓋開啟

    鉸鏈側開

    加熱臺材質

    304不銹鋼

    內腔體尺寸

    φ160x90mm

    觀察窗尺寸

    Φ70mm

    加熱臺尺寸

    φ60mm

    觀察窗熱臺間距

    75mm

    加熱臺溫度

    35-350℃

    -196-350℃

    加熱臺溫控誤差

    ±1℃

    真空度

    機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

    允許正壓

    ≤0.1MPa

    真空抽氣口

    KF25真空法蘭

    氣體進氣口

    3mm-6mm卡套接頭

    電信號接頭

    SMA轉BNC X 4

    電學性能

    絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

    探針數量

    4探針

    探針材質

    鍍金鎢針

    探針尖

    10μm

    探針移動平臺

    X軸移動行程

    30mm    ±15mm

    X軸控制精度

    ≤0.01mm

    Y軸移動行程

    13mm    ±12.5mm

    Y軸控制精度

    ≤0.01mm

    Z軸移動行程

    13mm    ±12.5mm

    Z軸控制精度

    ≤0.01mm

    電子顯微鏡

    顯微鏡類別

    物鏡

    物鏡倍數

    0.7-4.5倍

    工作間距

    90mm

    相機

    sony 高清

    像素

    1920※1080像素

    圖像接口

    VGA

    LED可調光源

    顯示屏

    8寸

    放大倍數

    19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



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