氣體質量流量計控制器配比器

氣體通道

2進1出

3進1出

4進1出

可根據需求定制

產品類型

高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制

可選量程

20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選)

產品精度

高精度型±1％F.S

普通型±1％F.S

重復精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

線性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

響應時間

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

供電電源

~85-265VAC 50/60Hz

大功耗

40W

進氣口壓

≤0.6MPa

連接管道

316不銹鋼管道

截止閥類型

電磁閥

單向閥開啟壓力

0.02Mpa

壓力顯示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸觸摸屏智能調節

時間設定

0-32000分鐘

清洗功能

一鍵清洗

程序控制

5段可編程序(時間-流量隨意設定值)

壓力顯示

有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路）

氣體混合罐

有（內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）

氣體加熱

無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調）

流量累計

有（累計當前運行總流量）

可選進出氣口接頭形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭

抗電磁干擾

有

外形尺寸

510x330x240mm

510x390x240mm

510x450x240mm

重量

18KG～45KG